第一天，三更时分打扫干净内外两坛，也就是用法水遍洒戒坛。四更时分在内坛诵念经咒，施展法力，使内坛与外界尘俗隔绝。五更时分派遣使者发符(也就是邀请函)，上请佛、菩萨、天神等，下召六道众生，请他们前来赴会。此时还要在大殿左前方树起长幡，上写“修建法界圣凡水陆普度大斋胜会功德宝幡”字样。
第二天，四更时分请诸位神佛正式临坛，叫做“请上堂”。其方法是在主坛上方悬挂神佛的画像卷轴，其中正中悬挂的是毗卢遮那佛(居中)、释迦牟尼佛(居左)和阿弥陀佛(居右)三位佛的画像。在神佛的画像卷轴下安放各种牌位。这些召请神佛的牌位的牌面上方画有宝盖，下方画有莲花，中间用黄纸书写所请神佛的名讳。在画像之下还要安放供桌，桌上摆设灯烛、香花、水果、佳肴、点心等供品。
第四天，三更时分，把居住在地面水里的神灵和待超度的六道众生请来，方法也是挂卷轴画像，这叫做“请下堂”。
四更时，安排浴盆香水供请来的“下堂”诸神沐浴。五更时，由大会主席说明本会遵守的戒条。
第五天，四更时诵读《信心铭》，五更时在下堂诸神画像前安放牌位，表示请他们正式临坛。与“请上堂”神佛的牌位不同，“下堂”诸神的牌位是用红纸而不是黄纸。午时，也要设斋饭款待众僧。
第六天，四更时分，主持亲自在上下堂神佛面前祈求祝福，为施主发愿，以求得使亡者早日超度，生者延寿无病，一切如愿。午时，要举行“放生”仪式，也就是将捕获的鱼类、鸟类等动物再放还湖池、山野。
第七天，五更时在上下堂神佛面前再次上供祷告，未时将上下堂神佛从内坛请到外坛；申时“送圣”，也就是把应烧送的文告符牒一律焚烧，礼送上下堂各位神佛。到此，法会才算结束。
焰口法会
放焰口，也称“焰口施食”，这是中国寺院经常举行的一种超度饿鬼并对死者亡灵进行追荐的法会。这种法会的主要根据是唐代僧人不空翻译的(《救拔焰口饿鬼陀罗尼经》。经书上讲：有一天，佛陀在迦毗罗城说法。这时，只有弟子阿难在僻静地方独自修习禅定。到夜间三更时分，有一个饿鬼出现在阿难面前，这个饿鬼就是“焰口”，又叫“面然”。他形状丑陋，身体枯瘦，口吐火焰，非常可怕。饿鬼焰口向阿难述说了自己生前因贪欲不足而堕入饿鬼道中的情景，并告诉阿难：“3天之后，你的寿命将尽，你也将生于饿鬼之中。”
阿难听后十分害怕，急忙跑去向佛陀求救。佛陀给他说明了解救饿鬼的办法，只要诵“无量威德自在光明殊胜妙力陀罗尼”的咒语，就能增长福寿，免受饿鬼之苦。佛陀还说，修炼此法时，任何时候都可以取一干净的器皿，里面装上净水和少许饭食。口里诵念陀罗尼咒7遍，然后称如来名号，用右手伸入器皿中，捻少许水、米，然后向地面弹指。如此连做7次，作为对饿鬼的布施，无数饿鬼吃了这些饮食，就能得到超度。
唐朝不空和尚所译的经书详细讲述了行焰口法事的程序。在不空等人的倡导下，向饿鬼施食成为修持密宗的僧人每日必须进行的宗教仪式。
到元代，藏族喇嘛进入汉地，密教也随之兴盛。藏经中有《瑜伽集要焰口施食仪》一卷，其中大部分内容与不空和尚所翻译的经书差不多。自此以后，根据这部经书举行的焰口法会在中国寺院中广泛流传。明代，关于焰口施食仪轨的作品很多，有“七家焰口八家忏”之说。这说明焰口法会在当时十分盛行，它的内容也不尽相同。
现在，佛寺中流行的是明代天机禅师依据《瑜伽焰口施食科仪》修订的《修习瑜伽集要施食坛仪》，简称为“天机焰口”；还有就是宝华山德基和尚根据《瑜伽集要施食仪轨》略加删辑而成的《瑜伽焰口施食集要》。一般将这两种最为流行的焰口仪式合称为“华山焰口两种”。近代，放焰口的仪式常常成为民间丧事的一道程序，用以追荐死者亡灵。在举行重**会的最后程序，也常常放焰口，表示法会功德圆满。
放焰口必须设置三种坛，即瑜伽坛、面然大士坛和灵坛。参加焰口施食仪式的僧人一般是7人到9人，最少的只要3个人就可以了。瑜伽坛设立在室内，按照参加仪式的僧人人数设座位。比如只有3个人，那么就只要在屋子中间放上一张带“佛”字桌披的长方条案，称为“主坛”。如果人多，那么可以在主坛两边相对放置两张或四张条案，称为“陪坛”。做法事时，坐在主坛的3位僧人均头戴毗卢帽，为首的僧人还要手持如意尺(戒尺)，而坐在陪坛的僧人不戴僧帽，手持各种法器。面然大士坛和灵坛设在屋外，与室内的瑜伽坛相对。面然大士就是鬼王，一般是用纸糊一个和真人一样大小的模型，形态丑恶，嘴里流出分岔的3道火焰，犹如伸出口外的3条红舌头。也有的不糊模型，只立牌位。灵坛上供奉被追荐的亡灵牌位，上书“佛力超荐口口口口往生莲位”的字样。
焰口法会一般在黄昏后，即晚7时至11时举行。据说，过了这段时间，鬼神不能得食。法会仪式大体包括“敬供”和“悲施”两部分。主要程序如下：
仪式开始，首先是主持僧人带领众僧净坛，然后开坛，依次在瑜伽坛、面然大士坛和灵坛前烧香礼拜，敬献供品，念诵经咒。这些仪式总称为“敬供”。
开完三坛，众僧入座，在主持的带领下唱诵《瑜伽焰口施食要集》一类的经卷。此外，还要唱六字真言108回。念诵完毕，圆满奉送，把面然大士坛和灵坛上的纸俑和牌位在诵念声中焚烧，送走亡灵。然后主持者抛洒饮食，向饿鬼施食。最后，主持者脱帽起立，三打问讯，唱《回向偈》，表示将超度饿鬼的功德“回向”到施主身上，保佑他家的生者和死者。放焰口仪式至此正式完成。